1、负责光刻新机台、新工艺以及材料的相关评估、工艺调试和验收;
2、负责机台相关工艺维护,提升产品良率;
3、负责减少工艺缺陷,改进工艺条件,减少返工,提升良率;
4、负责SPC管理及维护;
5、制定工艺规范文件,对相应设备操作人员进行技能培训。
1、熟练掌握NIKON光刻机,SVG/MARK轨道等相关设备及工艺;
2、2年以上集成电路 FAB光刻工艺相关工作经验;
3、熟悉工艺的规则和流程,了解工艺原理及常用耗材、变更方案及相关耗材的评估方法;
4、熟练掌握相关测量设备的使用;
5、良好的沟通能力和团队合作精神,具备独立工作分析和解决问题的能力。