1) 基于SOI硅光工艺平台,完成光波导、耦合器、微环、调制器、锗硅探测器等核心器件的仿真优化与工艺适配,结合制程能力折中器件性能与工艺窗口。
2) 负责光子器件版图规范制定、参数化PCell开发,配合完成硅光PDK、光学DRC工艺规则迭代,支撑芯片规模化量产设计。
3) 参与MPW及专项流片项目,负责测试结构设计、Mask工艺评审,跟踪光刻、刻蚀、外延等制程波动,沉淀工艺裕量与标准化制程规范。
4) 开展晶圆级光电性能测试与数据分析,定位工艺与器件问题,输出优化方案,完成设计、流片、测试、量产迭代的技术闭环。
5) 撰写工艺仿真、流片复盘、器件规范等技术文档,持续完善平台器件IP库与工艺开发体系。
1) 硕士及以上学历,光学工程、光电信息、微电子、集成电路、物理学、电子等相关专业;
2) 掌握光波导、模式传输、半导体器件基础原理,了解SOI硅光特性及半导体基本工艺流程,具备基础工艺适配思维;
3) 熟练使用光学仿真工具,掌握Python/Matlab数据处理;了解光子版图工具优先;
4) 有硅光器件仿真、光波导设计、MPW流片、光学测试相关课题或项目经验优先;
5) 逻辑清晰、严谨细致,具备良好的问题分析与技术总结能力,愿意长期深耕硅光工艺领域。
